BS ISO 22309-2006 标准详情
- 标准号：BS ISO 22309-2006
- 中文标题：微电子束分析.用能量散射光谱仪(EDS)进行定量分析
- 英文标题：Microbeam analysis - Quantitative analysis using energy-dispersive spectrometry (EDS)
- 标准类别：英国标准
- 发布日期：2006-05-31
BS ISO 22309-2006 微电子束分析.用能量散射光谱仪(EDS)进行定量分析
内容简介
ISO 22309-2006 微电子束分析.用能量散射光谱仪(EDS)进行定量分析 gives guidance on the quantitative analysis at specific points or areas of a specimen using energy-dispersive spectrometry (EDS) fitted to a scanning electron microscope (SEM) or electron probe microanalyser
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