ASTM F928-1993 标准详情
- 标准号：ASTM F928-1993
- 中文标题：圆形半导体晶片及硬性磁盘基片的边缘轮廓的试验方法
- 英文标题：test methods for edge contour of circular semiconductor wafers and rigid disk substrates
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：1993-08-15
ASTM F928-1993 圆形半导体晶片及硬性磁盘基片的边缘轮廓的试验方法
内容简介
1.1 These test methods provide means for examining the edge contour of circular wafers of silicon, gallium arsenide, and other electronic materials, and determining fit to limits of contour specified by a template that defines a permitted zone throug
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