SEMI E16-1990 标准详情
- 标准号：SEMI E16-1990
- 中文标题：方针确定和描述质量流量控制器泄漏率
- 英文标题：Guideline for determining and describing mass flow controller leak rates
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：1990
SEMI E16-1990 方针确定和描述质量流量控制器泄漏率
内容简介
This guide gives a worldwide uniform method of measuring and describing leak rates of mass flow controllers. The leak integrity of a gas delivery system is important in maintaining product performance and quality and this guideline distinguishes betw
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