SEMI E12-1991 标准详情
- 标准号：SEMI E12-1991
- 中文标题：标准为标准压力和标准温度下流动单元质量流量计和质量流量控制器用
- 英文标题：Standard for standard pressure and standard temperature for flow units used in mass flow meters and mass flow controllers
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：1991
SEMI E12-1991 标准为标准压力和标准温度下流动单元质量流量计和质量流量控制器用
内容简介
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