ISO 3530-1979 标准详情
- 标准号：ISO 3530-1979
- 中文标题：真空技术 质谱仪型检漏仪校准
- 英文标题：Vacuum technology; Mass-spectrometer-type leak-detector calibration
- 标准类别：国际标准化组织标准ISO
- 发布日期：1979-09
ISO 3530-1979 真空技术 质谱仪型检漏仪校准
内容简介
Only leak detectors are described which have an integral high vacuum system to maintain the sensing element of the mass spectrometer at a low pressure. Two procedures are outlined, one to determine the minimum detectable leak rate and the other for d
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