SEMI PV35-2012 标准详情
- 标准号：SEMI PV35-2012
- 中文标题：
- 英文标题：Specification For Horizontal Communication Between Equipment For Photovoltaic Fabrication System
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI PV35-2012
内容简介
Gives a specification for communication between adjacent equipment in material flow (hereinafter referred to as horizontal communication [HC]) to be used for photovoltaic fabrication system or similar ones (equipment here includes process equipment,
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