SEMI E87-2009 标准详情
- 标准号：SEMI E87-2009
- 中文标题：
- 英文标题：Specification For Carrier Management (cms)
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI E87-2009
内容简介
Specifies a standardized behavior for host view communication with production equipment during the coordination, execution, and completion of automated and manual carrier transfers to and from the equipment and, if it exists, its internal buffer spac
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