SEMI M49-2007 标准详情
- 标准号：SEMI M49-2007
- 中文标题：指南指定几何测量设备硅片为130纳米至65纳米技术代
- 英文标题：Guide For Specifying Geometry Measurement Equipment For Silicon Wafers For The 130 Nm To 65 Nm Technology Generations
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI M49-2007 指南指定几何测量设备硅片为130纳米至65纳米技术代
内容简介
Provides recommendations for specifying measurement equipment measurement systems for geometry and flatness of silicon wafers of the 130, 90, and 65 nm technology generation as anticipated by the International Technology Roadmap for Semiconductors (I
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