SEMI T7-2003 标准详情
- 标准号：SEMI T7-2003
- 中文标题：规范背面双面抛光片标记与一个二维矩阵码符号
- 英文标题：SPECIFICATION FOR BACK SURFACE MARKING OF DOUBLE-SIDE POLISHED WAFERS WITH A TWO-DIMENSIONAL MATRIX CODE SYMBOL
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：2003-03-01
SEMI T7-2003 规范背面双面抛光片标记与一个二维矩阵码符号
内容简介
Describes the geometric and spatial relationships and content (including the error checking and correcting code) of a rectangular two-dimensional (2-D), machine-readable, binary data matrix code symbol for back surface marking of notched, double-side
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