JEDEC JESD35-1-1995 JESD35的补遗1－薄电介质的Wafer-Level测试的设计测试结构的一般指南
JEDEC JESD35-1-1995 标准详情
- 标准号：JEDEC JESD35-1-1995
- 中文标题：JESD35的补遗1－薄电介质的Wafer-Level测试的设计测试结构的一般指南
- 英文标题：general guidelines for designing test structures for the wafer-level testing of thin dielectrics addendum no. 1 to jesd35
- 标准类别：电子元件工业联合会标准JEDEC
- 发布日期：1995-09-01
内容简介
The JESD35 describes voltage and current ramp tests for characterizing the integrity of thindielectrics in MOS microelectronics. Two parameters, the breakdown electric field and thecharge density to breakdown, are typically extracted fiom the test re
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