EIA JESD92-2003 标准详情
- 标准号：EIA JESD92-2003
- 中文标题：方法表征时间的超薄栅介质依赖的介质击穿
- 英文标题：procedure for characterizing time- dependent dielectric breakdown of ultra-thin gate dielectrics
- 标准类别：美国电子工业协会标准
- 发布日期：2003-08-01
EIA JESD92-2003 方法表征时间的超薄栅介质依赖的介质击穿
内容简介
Defines a constant voltage stress test procedure for characterizing time-dependent dielectric breakdown or "wear-out" of thin gate dielectrics used in integrated circuit technologies.
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