ASTM F673-2002 用无触点涡流计测量半导体单片电阻率或半导体薄膜电阻率的标准试验方法
ASTM F673-2002 标准详情
- 标准号：ASTM F673-2002
- 中文标题：用无触点涡流计测量半导体单片电阻率或半导体薄膜电阻率的标准试验方法
- 英文标题：standard test methods for measuring resistivity of semiconductor slices or sheet resistance of semiconductor films with a noncontact eddy-current gage
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：2002
内容简介
This standard was transferred to SEMI (www.semi.org) May 20031.1 These test methods cover the nondestructive measurement of bulk resistivity of silicon and certain gallium-arsenide slices and of the sheet resistance of thin films of silicon or galliu
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