ASTM P197- 标准详情
- 标准号：ASTM P197-
- 中文标题：试验方法对硅片间隙氧含量由计算机辅助红外分光撤回1988两面抛光
- 英文标题：test method for interstitial oxygen content of silicon slices polished on both sides by computer-assisted infrared spectrophotometry withdrawn 1988
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：
ASTM P197- 试验方法对硅片间隙氧含量由计算机辅助红外分光撤回1988两面抛光
内容简介
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