BS DD ISO/TR 15969-2001 标准详情
- 标准号：BS DD ISO/TR 15969-2001
- 中文标题：表面化学分析.深度剖面.溅蚀深度的测量
- 英文标题：Surface chemical analysis - Depth profiling - Measurement of sputtered depth
- 标准类别：英国标准
- 发布日期：2001-10-01
BS DD ISO/TR 15969-2001 表面化学分析.深度剖面.溅蚀深度的测量
内容简介
This Technical Report gives guidelines for measuring the sputtered depth in sputtered depth profiling. The methods of sputtered depth measurement described in this Technical Report are applicable to techniques of surface chemical analysis when used i
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