GSA FED-STD-209 E CANC 1-2001 标准详情
- 标准号：GSA FED-STD-209 E CANC 1-2001
- 中文标题：在洁净室和洁净区空气中的颗粒物清洁度等级[被取代： ISO 14644-1 ， ISO 14644-2 ]
- 英文标题：airborne particulate cleanliness classes in cleanrooms and clean zones [superseded by: iso 14644-1, iso 14644-2]
- 标准类别：全球半导体联盟标准规范GSA
- 发布日期：
