SEMI PV1-2009 标准详情
- 标准号：SEMI PV1-2009
- 中文标题：
- 英文标题：Test Method For Measuring Trace Elements In Silicon Feedstock For Silicon Solar Cells By High-mass Resolution Glow Discharge Mass Spectrometry
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI PV1-2009
内容简介
Monitors the bulk trace level elemental impurities in silicon feedstock that affect the performance of the silicon solar cell, in particular- - the concentration of intentionally added dopants, and unintentionally added dopants, that can affect the t
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