ISO/TR 14999-3-2005 光学和光子学 光学元件和光学系统的干涉测量 第3部分：干涉试验设备的校验及测量
ISO/TR 14999-3-2005 标准详情
- 标准号：ISO/TR 14999-3-2005
- 中文标题：光学和光子学 光学元件和光学系统的干涉测量 第3部分：干涉试验设备的校验及测量
- 英文标题：optics and photonics -- interferometric measurement of optical elements and optical systems -- part 3: calibration and validation of interferometric test equipment and measurements
- 标准类别：国际标准化组织标准ISO
- 发布日期：2005-03-16
内容简介
ISO/TR 14999-3:2005 discusses sources of error and the separation of errors into symmetric and non-symmetric parts. It also describes the reliance of measurements on the quality of a physical reference surface and the development of test procedures c
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