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BS ISO 23812-2009 表面化学分析.次级离子质谱分析法.用多δ层基准物质对硅进行深度校准的方法

BS ISO 23812-2009 表面化学分析.次级离子质谱分析法.用多δ层基准物质对硅进行深度校准的方法

BS ISO 23812-2009 标准详情

  • 标准号:BS ISO 23812-2009
  • 中文标题:表面化学分析.次级离子质谱分析法.用多δ层基准物质对硅进行深度校准的方法
  • 英文标题:Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for depth calibration for silicon using multiple delta-layer reference materials
  • 标准类别:英国标准
  • 发布日期:2009-05-31

内容简介

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