SEMI E125-2009 标准详情
- 标准号：SEMI E125-2009
- 中文标题：
- 英文标题：Specification For Equipment Self Description (eqsd)
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI E125-2009
内容简介
Specifies a method for allowing equipment suppliers to provide a description of the variables, events, exceptions, and physical equipment configuration available from their equipment. With this information available for consumption by software system
* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，本网站所提供的电子文本仅供参考，请以正式出版物为准。仅供个人标准化学习，研究使用。如有侵权，请及时联系我们！
- 标准质量：
- ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准，期待。
② 仅供网友学习交流，若侵犯了您的权益，请联系我们予以删除。
③ 代购正版，联系：