ASTM E684-2004 固体表面溅射深度仿形加工用大直径离子束的电流密度近似测定的标准规程
ASTM E684-2004 标准详情
- 标准号：ASTM E684-2004
- 中文标题：固体表面溅射深度仿形加工用大直径离子束的电流密度近似测定的标准规程
- 英文标题：Standard Practice for Approximate Determination of Current Density of Large-Diameter Ion Beams for Sputter Depth Profiling of Solid Surfaces
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：2004
内容简介
Sputter depth profiling is used in conjunction with Auger electron spectroscopy, x-ray photoelectron spectroscopy, ion scattering spectroscopy, and secondary ion mass spectrometry to determine the chemical composition and atomic concentration as a
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