ASTM F978-2002 标准详情
- 标准号：ASTM F978-2002
- 中文标题：标准测试方法，通过瞬态电容技术表征半导体深能级
- 英文标题：standard test method for characterizing semiconductor deep levels by transient capacitance techniques
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：2002
ASTM F978-2002 标准测试方法，通过瞬态电容技术表征半导体深能级
内容简介
This standard was transferred to SEMI (www.semi.org) May 20031.1 This test method covers three procedures for determining the density, activation energy, and prefactor of the exponential expression for the emission rate of deep-level defect centers i
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