IEC/TS 62622 Ed. 1.0 标准详情
- 标准号：IEC/TS 62622 Ed. 1.0
- 中文标题：
- 英文标题：Nanotechnologies - Description, measurement and dimensional quality parameters of artificial gratings
- 标准类别：国际电工委员会IEC
- 发布日期：
IEC/TS 62622 Ed. 1.0
内容简介
IEC/TS 62622-2012 纳米技术.人造光栅尺寸规格质量参数、测量和描述(E), which is a technical specification, specifies the generic terminology for the global and local quality parameters of artificial gratings, interpreted in terms of deviations from nominal positions of grati
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