ASTM F 2166-2002 标准详情
- 标准号：ASTM F 2166-2002
- 中文标题：通过使用特定的标准薄片监测非接触介电表征系统的标准实施规范
- 英文标题：standard practices for monitoring non-contact dielectric characterization systems through use of special reference wafers
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：2002-01-01
ASTM F 2166-2002 通过使用特定的标准薄片监测非接触介电表征系统的标准实施规范
内容简介
This standard was transferred to SEMI (www.semi.org) May 20031.1 These practices describe the use of wafers with special electrical and physical characteristics for controlling and monitoring performance of non-contact dielectric characterization sys
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