ASTM F81-2001 标准详情
- 标准号：ASTM F81-2001
- 中文标题：硅片径向电阻率变化测量的标准试验方法
- 英文标题：standard test method for measuring radial resistivity variation on silicon wafers
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：2001
ASTM F81-2001 硅片径向电阻率变化测量的标准试验方法
内容简介
This standard was transferred to SEMI (www.semi.org) May 20031.1 This test method provides procedures for the determination of relative radial variation of resistivity of semiconductor wafers cut from silicon single crystals grown either by the Czoch
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