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SJ 3244.4-1989 砷化镓和磷化铟材料载流子浓度剖面分布的测试方法-电化学电压电容法

SJ 3244.4-1989 砷化镓和磷化铟材料载流子浓度剖面分布的测试方法-电化学电压电容法

SJ 3244.4-1989

行业标准-电子强制性

标准详情

  • 标准名称:砷化镓和磷化铟材料载流子浓度剖面分布的测试方法-电化学电压电容法
  • 标准号:SJ 3244.4-1989
    中国标准分类号:CCS1,
  • 发布日期:1989-03-20
    国际标准分类号:441.457.
  • 实施日期:1989-03-25
    技术归口:
  • 代替标准:
    批准发布部门:
  • 标准分类:综合电气工程半导体材料标准化管理与一般规定技术管理

内容简介

1.1 本标准规定了电化学电压电容法测量的原理、仪器和电解液要求、测量步骤、测量结果的计算。 1.2 本标准适用于载流子浓度10^(14)~10(19)cm^(-3)的n型和P型砷化镓、磷化铟,也适用于铝镓砷和镓铟砷磷材料载流子浓度剖面分布的测量。

起草单位

起草人

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