ASTM F84-2002 标准详情
- 标准号：ASTM F84-2002
- 中文标题：用在线四点探针法测量硅片电阻率的标准试验方法
- 英文标题：standard test method for measuring resistivity of silicon wafers with an in-line four-point probe
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：2002
ASTM F84-2002 用在线四点探针法测量硅片电阻率的标准试验方法
内容简介
This standard was transferred to SEMI (www.semi.org) May 20031.1 This test method covers the measurement of the resistivity of silicon wafers with a in-line four-point probe. The resistivity of a silicon crystal is an important materials acceptance
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