ISO 18516-2006 标准详情
- 标准号：ISO 18516-2006
- 中文标题：表面化学分析.俄歇电子光谱法和X射线光电子光谱法.横向分辨率测定
- 英文标题：Surface chemical analysis - Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy - Determination of lateral resolution
- 标准类别：国际标准化组织标准ISO
- 发布日期：2006-11
ISO 18516-2006 表面化学分析.俄歇电子光谱法和X射线光电子光谱法.横向分辨率测定
内容简介
This International Standard describes three methods for measuring the lateral resolution achievable in Augerelectron spectrometers and X-ray photoelectron spectrometers under defined settings. The straight-edgemethod is suitable for instruments where
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