ASTM F950-1985 标准详情
- 标准号：ASTM F950-1985
- 中文标题：用于测量的机械加工硅片表面的晶体损伤的深度由角抛光和蚀刻缺陷的标准方法
- 英文标题：standard method for measuring the depth of crystal damage of a mechanically worked silicon slice surface by angle polishing and defect etching
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：
