ASTM F1512-94 标准详情
- 标准号：ASTM F1512-94
- 中文标题：标准实践靶材，背板组件的超声波C扫描粘结评定
- 英文标题：Standard Practice for Ultrasonic C-Scan Bond Evaluation of Sputtering Target-Backing Plate Assemblies
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：
ASTM F1512-94 标准实践靶材，背板组件的超声波C扫描粘结评定
内容简介
CONTAINED IN VOL. 10.04, 2006Outlines a procedure for ultrasonic mapping of soundness of a bond joining a sputtering target to a supporting backing plate.Examination results can be used to predict the target-backing plate assembly''s suitability fo
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