ISO/TR 19319-2013 标准详情
- 标准号：ISO/TR 19319-2013
- 中文标题：表面化学分析.基于光束方法中横向分辨率和清晰度的测定基础方法
- 英文标题：Surface chemical analysis - Fundamental approaches to determination of lateral resolution and sharpness in beam-based methods
- 标准类别：国际标准化组织ISO
- 发布日期：2013-03
ISO/TR 19319-2013 表面化学分析.基于光束方法中横向分辨率和清晰度的测定基础方法
内容简介
ISO/TR 19319:2013 describes: functions and their relevance to lateral resolution: point spread function (PSF), line spread function (LSF), edge spread function (ESF), modulation transfer function (MTF) and contrast transfer function (CTF); experiment
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