ASTM F728-1981(1997)E1 标准详情
- 标准号：ASTM F728-1981(1997)E1
- 中文标题：用于制备光学显微镜的三维测量的标准做法
- 英文标题：standard practice for preparing an optical microscope for dimensional measurements
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：1981
ASTM F728-1981(1997)E1 用于制备光学显微镜的三维测量的标准做法
内容简介
1.1 This practice covers the preparation of an optical microscope for dimensional measurements. It is intended for preparing an optical microscope to measure the width of lines, in the range from 0.5 to 12 [mu]m, inclusive, on hard-surface photomasks
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