ISO 14237-2000 标准详情
- 标准号：ISO 14237-2000
- 中文标题：表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
- 英文标题：Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
- 标准类别：国际标准化组织标准ISO
- 发布日期：2000-02
