DIN EN 62047-6-2010 标准详情
- 标准号：DIN EN 62047-6-2010
- 中文标题：半导体器件 微电机器件 第6部分：薄膜材料的轴向疲劳试验方法
- 英文标题：halbleiterbauelemente - bauelemente der mikrosystemtechnik - teil 6: pruefverfahren zur uniaxialen dauerschwingfestigkeit von duennschicht-werkstoffen (iec 62047-6:2009); deutsche fassung en 62047-6:2010 semiconductor devices - micro-electromechanica
- 标准类别：德国标准
- 发布日期：2010-07-01
