ASTM F890-1984 标准详情
- 标准号：ASTM F890-1984
- 中文标题：微电子器件加工过程用的光刻膜中针孔密度的测定
- 英文标题：determining pinhole density in photoresist films used in microelectronic device processing
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：1984-01-01
ASTM F890-1984 微电子器件加工过程用的光刻膜中针孔密度的测定
内容简介
CONTAINED IN VOL 10.05 1997Outlines method for counting number of pinholes in a photoresist film.
* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，本网站所提供的电子文本仅供参考，请以正式出版物为准。仅供个人标准化学习，研究使用。如有侵权，请及时联系我们！
- 标准质量：
- ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准，期待。
② 仅供网友学习交流，若侵犯了您的权益，请联系我们予以删除。
③ 代购正版，联系：