ASTM F66-1984 标准详情
- 标准号：ASTM F66-1984
- 中文标题：微电子器件制造用光敏抗蚀剂的试验方法
- 英文标题：test methods for testing photoresists used in microelectronic fabrications
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：1984-01-01
ASTM F66-1984 微电子器件制造用光敏抗蚀剂的试验方法
内容简介
CONTAINED IN VOL. 10.05 1997Tests characteristics of photoresists used for selective masking in microelectronic circuits.
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