SEMI E109-2005 标准详情
- 标准号：SEMI E109-2005
- 中文标题：
- 英文标题：Specification For Reticle And Pod Management (rpms)
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI E109-2005
内容简介
Describes standardized behavior for lithography, reticle inspection, and bare reticle stocker equipment. Also describes standardized communication with lithography, reticle inspection, and bare reticle stocker equipment.
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