ASTM F 2086-2001 标准详情
- 标准号：ASTM F 2086-2001
- 中文标题：圆形磁性溅涂靶磁通量的标准试验方法2
- 英文标题：standard test method for pass through flux of circular magnetic sputtering targets, method 2
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：2001-02-10
ASTM F 2086-2001 圆形磁性溅涂靶磁通量的标准试验方法2
内容简介
1.1 This test method covers measuring the dc magnetic field transmitted through a round ferromagnetic sputtering target ("pass through flux" or "PTF"). In this test method the source magnetic field is in the test target''s radial direction.1.2
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