IEC 62047-2-2006 标准详情
- 标准号：IEC 62047-2-2006
- 中文标题：半导体装置.微型机电装置.第2部分:薄膜材料的拉伸试验方法
- 英文标题：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials
- 标准类别：国际电工委员会标准
- 发布日期：2006-08
IEC 62047-2-2006 半导体装置.微型机电装置.第2部分:薄膜材料的拉伸试验方法
内容简介
This International Standard specifies the method for tensile testing of thin film materials withlength and width under 1 mm and thickness under 10 μm, which are main structural materialsfor micro-electromechanical systems (MEMS), micromachines and si
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