JIS B 9926-1991 标准详情
- 标准号：JIS B 9926-1991
- 中文标题：净化间内使用设备的运动部件振动量测定方法
- 英文标题：clean room -- test methods for dust generation from moving mechanisms
- 标准类别：日本工业标准
- 发布日期：1991-03-01
JIS B 9926-1991 净化间内使用设备的运动部件振动量测定方法
内容简介
この規格は,クリーンルームその他の清浄環境内で用いる機器()の運動機構が運転時に発生する微粒子の大きさと数とを測定する方法について規定する。注()生産機器,測定機器,ロポット,搬送機器など。
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