SEMI C72-2011 标准详情
- 标准号：SEMI C72-2011
- 中文标题：
- 英文标题：Guide For Propylene-Glycol-Mono-Methyl-Ether (Pgme), Propylene-Glycol-Mono-Methyl-Ether-Acetate (Pgmea) And The Mixture 70Wt% Pgme/30Wt% Pgmea
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI C72-2011
内容简介
Specifies a guide for propylene-glycol-mono-methyl-ether (PGME), propylene-glycol-mono-methyl-ether-acetate (PGMEA) and the mixture 70wt% PGME/30wt% PGMEA for which a need has been identified.
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