SEMI E139.1-2009 标准详情
- 标准号：SEMI E139.1-2009
- 中文标题：
- 英文标题：Xml Schema For The Rap Pde
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI E139.1-2009
内容简介
Describes an XML-based format for transferring recipe components. Also includes an XML schema that corresponds to the UML model for the RaP Process Definition Element (PDE) as defined by SEMI E139. And also an XML schema is defined for the Manifest t
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