DIN EN 62047-3-2007 标准详情
- 标准号：DIN EN 62047-3-2007
- 中文标题：半导体器件.微电机设备.第3部分:拉伸试验用薄膜标准试验片
- 英文标题：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile-testing (IEC 62047-3:2006); German version EN 62047-3:2006
- 标准类别：德国标准
- 发布日期：2007-02
