SEMI PV42-2013 标准详情
- 标准号：SEMI PV42-2013
- 中文标题：
- 英文标题：Test Method For In-Line Measurement Of Waviness Of Pv Silicon Wafers By A Light Sectioning Technique Using Multiple Line Segments
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI PV42-2013
内容简介
Describes the maximum peak-to-valley of waviness of multi or single crystal Si wafers that typically runs across the entire wafer surface and along the wire direction.
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