NF EN 62047-6-2010 半导体器件 - 微机电设备 - 第6部分：薄膜材料Dispositifs semiconducteurs轴向疲劳试验方法， Dispositifs microectromaniques ， Partie 6 ： mhodes科特迪瓦的Essais去疲劳axiale德matiaux恩COUCHE切末
NF EN 62047-6-2010 标准详情
- 标准号：NF EN 62047-6-2010
- 中文标题：半导体器件 - 微机电设备 - 第6部分：薄膜材料Dispositifs semiconducteurs轴向疲劳试验方法， Dispositifs microectromaniques ， Partie 6 ： mhodes科特迪瓦的Essais去疲劳axiale德matiaux恩COUCHE切末
- 英文标题：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6 : axial fatigue testing methods of thin film materials Dispositifs semiconducteurs. Dispositifs microectromaniques. Partie 6 : mhodes d'essais de fatigue axiale des matiaux en couche m
- 标准类别：法国国家NF
- 发布日期：2010-09-01
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