BS CECC 00013-1985 电子元器件质量评定协调体系.基本规范:半导体小片的扫描电子显微镜检验
BS CECC 00013-1985 标准详情
- 标准号：BS CECC 00013-1985
- 中文标题：电子元器件质量评定协调体系.基本规范:半导体小片的扫描电子显微镜检验
- 英文标题：harmonized system of quality assessment for electronic components: basic specification: scanning electron microscope inspection of semiconductor dice
- 标准类别：英国标准
- 发布日期：1985-08-30
内容简介
Describes equipment and procedures to be used for SEM inspection of discrete semiconductor devices and integrated circuits.
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