SEMI E96-2001 标准详情
- 标准号：SEMI E96-2001
- 中文标题：GUIDE FOR CIM框架技术架构
- 英文标题：GUIDE FOR CIM FRAMEWORK TECHNICAL ARCHITECTURE
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：2001-11-01
SEMI E96-2001 GUIDE FOR CIM框架技术架构
内容简介
Describes technical architecture choices that enable application components to cooperate in a Computer Integrated Manufacturing (CIM) environment and reduce the effort required to integrate those components into a working solution.
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