SEMI G94-2013 标准详情
- 标准号：SEMI G94-2013
- 中文标题：
- 英文标题：Specification For Coin-Stack Type Tape Frame Shipping Container For 300 Mm Wafer
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI G94-2013
内容简介
Specifies the dimensions of container and requirements for securing the interface between container and processing equipment or wafer transportation equipment.
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