BS EN 62047-21-2014 标准详情
- 标准号：BS EN 62047-21-2014
- 中文标题：半导体器件，微机电设备，为泊松＆＃ 39试验方法，薄膜的S比MEMS材料
- 英文标题：Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials
- 标准类别：英国标准BS
- 发布日期：31 October 2014
BS EN 62047-21-2014 半导体器件，微机电设备，为泊松＆＃ 39试验方法，薄膜的S比MEMS材料
内容简介
Defines the determination of Poisson''s ratio from the test results obtained by the application of uniaxial and biaxial loads to thin-film micro-electromechanical systems (MEMS) materials with lengths and widths less than 10 mm and thicknesses less
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