SEMI P10-2009 标准详情
- 标准号：SEMI P10-2009
- 中文标题：
- 英文标题：Specification Of Data Structures For Photomask Orders
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：
SEMI P10-2009
内容简介
Intended to facilitate the transmittal of mask order data between software systems to allow- - automated order placement by mask customers and to allow the automatic processing of such orders by mask shops, and - automated delivery of actual mask res
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