DIN EN ISO 14644-9-2012 净化室和相关控制环境.第9部分:利用颗粒物浓度对表面洁净度的分类(ISO 14644-9-2012).德文版本EN ISO 14644-9-2012
DIN EN ISO 14644-9-2012 标准详情
- 标准号：DIN EN ISO 14644-9-2012
- 中文标题：净化室和相关控制环境.第9部分:利用颗粒物浓度对表面洁净度的分类(ISO 14644-9-2012).德文版本EN ISO 14644-9-2012
- 英文标题：Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration (ISO 14644-9:2012); German version EN ISO 14644-9:2012
- 标准类别：德国标准DIN
- 发布日期：2012-12
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